[发明专利]一种高精度恒温洁净室

权利要求书

1.一种高精度恒温洁净室，其特征在于：包括由左到右依次设置的调温过滤室及洁净室，所述调温过滤室的中部竖直设置有隔板，所述隔板分别与所述调温过滤室的上下前后四个侧壁密封连接并将所述调温过滤室分隔成左腔室和右腔室；所述左腔室的左侧壁的中部设置进风口，所述进风口内设置第一温度传感器，所述左腔室内设置有至少一组调温过滤组件，所述调温过滤组件密封镶嵌在所述隔板上且穿过所述隔板伸入到所述右腔室内；所述调温过滤组件的左侧设置有均匀分流装置，所述均匀分流装置的入口与所述进风口相连，所述均匀分流装置的出口与所述调温过滤组件的入口相连；所述右腔室的顶端设置出风口，所述出风口内设置有第二温度传感器，所述出风口与所述洁净室连通，所述出风口设置有均匀散风结构，所述均匀散风结构设置在所述洁净室的顶部。

2.如权利要求1所述的高精度恒温洁净室，其特征在于：所述调温过滤组件包括相互拼接的散热盘管机及FFU风机过滤机组；所述散热盘管机的左侧与所述均匀分流装置的出口相对，所述散热盘管机的右侧与所述FFU风机过滤机组的进风端相对，所述FFU风机过滤机组的出风端镶嵌在所述隔板上且凸出在所述右腔室内；每个所述散热盘管机通过输水管并联，所述输水管上设置有加热器，所述加热器电性连接外部的温度调控器，所述温度调控器与所述第一温度传感器和所述第二温度传感器电性连接。

3.如权利要求2所述的高精度恒温洁净室，其特征在于：所述输水管上还设置有恒压泵，所述恒压泵嵌装在所述输水管上。

4.如权利要求2所述的高精度恒温洁净室，其特征在于：所述进风口内还设置有预调温组件，所述预调温组件居中设置，所述预调温组件位于所述第一温度传感器的左侧，所述预调温组件的左侧还设置有第三温度传感器，所述第三温度传感器与所述温度调控器电性连接。

5.如权利要求4所述的高精度恒温洁净室，其特征在于：所述预调温组件包括由左到右依次设置拼接的预加热机构和风机，所述预加热机构的加热方式为水加热散热或者电加热散热。

6.如权利要求1所述的高精度恒温洁净室，其特征在于：所述均匀散风结构包括出风排管，所述出风排管固定设置在所述洁净室的顶部，所述出风排管上均匀设置有朝下的散风口。

7.如权利要求6所述的高精度恒温洁净室，其特征在于：所述出风排管位于所述洁净室四个墙角的位置处分别设置有从上到下延伸的排风管，所述排风管的侧壁上由上至下均匀布设有散风口。

8.如权利要求7所述的高精度恒温洁净室，其特征在于：四根所述排风管上的散风口在同一高度上共面。

9.如权利要求8所述的高精度恒温洁净室，其特征在于：每个所述散风口与位于其右侧的墙壁之间的夹角小于90度，且每个所述散风口与位于其右侧的墙壁之间的角度相同。

10.如权利要求9所述的高精度恒温洁净室，其特征在于：所述散风口倾斜朝上设置。