[发明专利]一种环保型晶圆封装用电镀液及其制备方法

摘要

本发明公开了一种环保型晶圆封装用电镀液及其制备方法，涉及电镀技术领域。本发明先利用4‑二甲基氨基‑N′‑羟基‑苯甲脒、1，3‑二氯‑2‑丙基氯甲基醚和3‑氨基‑4‑(2‑甲基丙胺基)喹啉，形成多季铵盐类自制缓蚀剂，并依靠导电聚合物为囊壁，形成微胶囊，当晶圆镀层表面发生局部损坏时，通过自制缓蚀剂的释放，恢复镀层表面的保护作用能，提高镀层的耐腐蚀作用；接着，以金属盐、银纳米线和微胶囊复配形成电镀液，配合间歇超声‑脉冲电镀，将微胶囊嵌入铜锡合金，同时，电镀铜锡合金有效连接银纳米线，填补镀层缺陷，有效释放镀层内应力，从而形成光亮、均匀且耐腐蚀的镀层。