[发明专利]一种执行器同步扫描的控制方法、上位机以及控制系统在审
| 申请号： | 202210327161.6 | 申请日： | 2022-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN114624965A | 公开（公告）日： | 2022-06-14 |
| 发明（设计）人： | 牛岩;付纯鹤;苏鹏方;杜婷婷;徐圆圆 | 申请（专利权）人： | 北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所） |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 于彬 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本申请提供了一种执行器同步扫描的控制方法、上位机以及控制系统，所述控制方法包括：获取参与扫描的各个子系统执行器的扫描时间区间；根据获取到的多个扫描时间区间之间的时间交叉关系，确定扫描时间值，并根据扫描时间值，确定出准备时间值；根据扫描时间值以及准备时间值，同时向各个子系统执行器下发扫描控制指令，控制多个子系统执行器对待曝光晶圆进行同步扫描。采用本申请提供的技术方案能够通过获取扫描时间区间与准备时间区间，确定出扫描时间值，以及准备时间值，并通过扫描时间值时间与准备时间值控制多个子系统执行器对待曝光晶圆进行同步扫描，从而在保障曝光图像质量的同时提高晶圆曝光的工作效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 执行 同步 扫描 控制 方法 上位 以及 控制系统 | ||
【主权项】：
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