[发明专利]一种执行器同步扫描的控制方法、上位机以及控制系统

权利要求书

1.一种执行器同步扫描的控制方法，其特征在于，应用于上位机，所述控制方法包括：

获取参与扫描的各个子系统执行器的扫描时间区间；其中，扫描时间区间是根据上位机发送的动作数据确定的，所述动作数据包括子系统执行器扫描的起始位置和终止位置；

根据获取到的多个扫描时间区间之间的时间交叉关系，确定扫描时间值，并根据扫描时间值，确定出准备时间值；

根据所述扫描时间值以及所述准备时间值，同时向各个子系统执行器下发扫描控制指令，控制多个子系统执行器对待曝光晶圆进行同步扫描。

2.根据权利要求1所述的控制方法，其特征在于，通过以下步骤确定扫描时间值：

根据获取到的多个扫描时间区间，确定多个扫描时间区间之间是否存在交集；

若存在交集，将交集区间的下限时间值或者交集时间值确定为扫描时间值；

若不存在交集，则生成无法执行的显示信息。

3.根据权利要求1所述的控制方法，其特征在于，通过以下步骤确定准备时间值：

根据所述扫描时间值，获取多个子系统执行器的准备时间区间；其中，所述准备时间区间是所述子系统执行器根据扫描时间值重新规划运动路径后所确定的；

根据获取的多个准备时间区间，确定多个准备时间区间之间是否存在交集；

若存在交集，将交集区间的下限时间值或者交集时间值确定为准备时间值；

若不存在交集，则生成无法执行的显示信息。

4.根据权利要求1所述的控制方法，其特征在于，所述控制方法还包括：

接收同步扫描完成信号，从各个子系统执行器中获取对应的扫描结果，并更新各个子系统执行器的可用状态；

根据所述扫描结果进行数据分析，对所述子系统执行器进行优化，并根据子系统执行器的状态进行下一次同步扫描过程。

5.一种上位机，其特征在于，所述上位机包括：

获取模块，用于获取参与扫描的多个子系统执行器的扫描时间区间；其中，扫描时间区间是根据上位机发送的动作数据确定的，所述动作数据包括子系统执行器扫描的起始位置和终止位置；

确定模块，用于根据获取到的多个扫描时间区间之间的时间交叉关系，确定扫描时间值，并根据扫描时间值，确定出准备时间值；

控制模块，用于根据所述扫描时间值以及所述准备时间值，同时向各个子系统执行器下发扫描控制指令，控制多个子系统执行器对待曝光晶圆进行同步扫描。

6.一种执行器同步扫描的控制系统，其特征在于，所述系统包括如权利要求5所述的上位机、单板计算机板卡、同步板卡以及至少一个子系统执行器；

所述上位机，用于根据扫描数据确定出参与扫描的多个子系统，向确定出的各个子系统的子系统执行器下发动作数据；接收各个子系统执行器发送的对应的扫描时间区间，根据接收到的多个扫描时间区间确定出扫描时间值；将所述扫描时间值发送给确定出的各个子系统的子系统执行器；接收各个子系统执行器发送的对应的准备时间区间，根据接收到的各个准备时间区间确定出准备时间值；将所述扫描时间值以及所述准备时间值作为扫描参数发送给所述单板计算机板卡；

所述单板计算机板卡，用于接收所述上位机发送的扫描参数，并将所述扫描参数发送给所述同步板卡；

所述同步板卡，用于接收所述单板计算机板卡发送的扫描参数，并根据所述扫描参数生成同步触发信号，将所述同步触发信号发送给所述子系统执行器；

所述子系统执行器，用于接收所述上位机发送的动作数据并存储，根据所述动作数据确定出扫描时间区间，并将所述扫描时间区间发送给所述上位机；接收所述上位机发送的扫描时间值，根据所述扫描时间值确定出准备时间区间，并将所述准备时间区间发送给所述上位机；接收所述同步板卡发送的同步触发信号，根据所述同步触发信号以及存储的动作数据执行对应的动作。

7.根据权利要求6所述的控制系统，其特征在于，所述上位机，还用于接收所述单板计算机板卡通过所述同步板卡发送的同步扫描完成信号，根据所述同步扫描完成信号从各个子系统执行器中获取扫描结果，根据所述扫描结果进行数据分析，对所述子系统执行器进行优化。