[发明专利]一种晶圆双工位移载装置、存储库、存取方法及整理方法有效
| 申请号： | 202210324603.1 | 申请日： | 2022-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN114772120B | 公开（公告）日： | 2023-05-23 |
| 发明（设计）人： | 缪峰 | 申请（专利权）人： | 弥费科技（上海）股份有限公司 |
| 主分类号： | B65G1/04 | 分类号： | B65G1/04;B65G1/137;B65G35/00 |
| 代理公司： | 北京清大紫荆知识产权代理有限公司 11718 | 代理人： | 黎飞鸿;郑纯 |
| 地址： | 201306 上海市浦东新区中国（上海）*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种晶圆双工位移载装置、存储库、存取方法及整理方法，双工位移载装置，包括：轨道；安装于轨道上的两组存取工位；其中，存取工位用于对晶圆进行存取，轨道对存取工位进行限位导向，使得存取工位沿着轨道移动。通过在轨道上安装两组存取工位，通过两组存取工位对晶圆进行存取工作，保证晶圆的存取速度，存取工位能够沿着轨道运动，便于对不同位置的晶圆进行存取，保证晶圆的流转效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 双工 位移 装置 存储 存取 方法 整理 | ||
【主权项】：
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