[发明专利]一种晶圆双工位移载装置、存储库、存取方法及整理方法

说明书

本发明提供一种晶圆双工位移载装置、存储库、存取方法及整理方法，双工位移载装置，包括：轨道；安装于轨道上的两组存取工位；其中，存取工位用于对晶圆进行存取，轨道对存取工位进行限位导向，使得存取工位沿着轨道移动。通过在轨道上安装两组存取工位，通过两组存取工位对晶圆进行存取工作，保证晶圆的存取速度，存取工位能够沿着轨道运动，便于对不同位置的晶圆进行存取，保证晶圆的流转效率。

技术领域

本说明书涉及物料搬运技术领域，具体涉及一种晶圆双工位移载装置、存储库、存取方法及整理方法。

背景技术

随着集成电路在日常生活中的普遍应用，半导体在产品中开始扮演角色日益重要，其需求相对也大幅提升，因此促进全球半导体市场的蓬勃发展。为了满足集成电路的大量需求，大部分的半导体制造企业都以提高产能及合格率为优先目标。在半导体制造企业中，晶片通常是采用批量的搬运方式，然而通过人力搬运不仅效率低，也容易发生危险、且搬运过程中存在芯片污染、芯片碰撞破碎等不确定因素。为解决人工搬运所带来的风险及不确定因素，自动物料搬运系统(AMHS：Automatic Material Handling System)应运而生，并且已经广泛应用在半导体制造行业中。

移载装置是实现晶圆快速输入输出存储库以及存储库与其他运输设备交换晶圆的重要装置。随着晶圆制造设备的快速发展，整体生产效率逐步提升，各生产环节工作节奏不断加快，晶圆在整条生产线上的流动速度不断增加，要求各对接晶圆设备在保证晶圆运输稳定的同时提高交换效率，如提高空中运输小车的行进速度，增加存储库的存储量，提升存储库与空中或地面机器人对接晶圆速度等，目前所有存储库配置的移载装置都是单工位，面对大量的移载任务，为保证晶圆运输平稳，降低晶圆损伤率，移载装置最大速度有一定的限制，所以需要其他对接设备排队等待从存储库中输出的晶圆，或等待移载机构取走晶圆后空出的暂存区，一个工序的排队等待将会对后续所有加工造成影响。

发明内容

为了解决背景技术中的问题，本发明提供一种晶圆双工位移载装置、存储库、存取方法及整理方法，通过在轨道上安装两组存取工位，通过两组存取工位对晶圆进行存取工作，保证晶圆的存取速度，存取工位能够沿着轨道运动，便于对不同位置的晶圆进行存取，保证晶圆的流转效率。

本发明提供以下技术方案：一种晶圆双工位移载装置，包括：

轨道；

安装于所述轨道上的两组存取工位；

其中，所述存取工位用于对所述晶圆进行存取，所述轨道对所述存取工位进行限位导向，使得所述存取工位沿着所述轨道移动；

所述存取工位包括：移动架和存取机构，所述移动架安装于所述轨道上，所述移动架沿着所述轨道在水平方向运动，所述存取机构安装于所述移动架上，所述存取机构沿着所述移动架在竖直方向运动，所述存取机构对所述晶圆进行存取。

优选的，所述存取机构包括：滑座和承重载盘，所述滑座安装于所述移动架上，所述滑座沿着所述移动架在竖直方向移动，所述承重载盘安装于所述滑座上，所述承重载盘在所述滑座上自由旋转。

优选的，所述承重载盘对所述晶圆进行存取，所述承重载盘可沿着与所述轨道垂直的水平方向运动。

优选的，所述轨道包括：空中轨道和地面轨道，所述空中轨道和所述地面轨道平行分布，所述空中轨道和所述地面轨道平行分布分别安装于所述存取工位的两端，所述存取工位在所述空中轨道和所述地面轨道上滑行。

优选的，两组所述存取工位分别设置于所述轨道的两侧；

或者，其中一组所述存取工位设置于所述轨道的中部，另外一组所述存取工位设置于所述轨道的边侧；

或者，两组所述存取工位相邻设置于所述轨道的同一边侧。

一种晶圆存储库，所述存储库包括如上述任一项所述的双工位移载装置，所述双工位移载装置用于对晶圆进行存取。