[发明专利]一种晶圆双工位移载装置、存储库、存取方法及整理方法

权利要求书

1.一种晶圆双工位移载装置，其特征在于，包括：

轨道；

位于所述轨道一侧的一组对接部和位于所述轨道另一侧的另一组对接部，其中，每一组对接部各包括沿轨道的行进方向布置的两个对接口，所述对接口用于接收空中运输机器人运输过来的晶圆，并且通过空中运输车将所述对接口处的晶圆转运出去；

安装于所述轨道上的两组存取工位；

其中，所述存取工位用于对所述晶圆进行存取，所述轨道对所述存取工位进行限位导向，使得所述存取工位沿着所述轨道在水平方向移动；

所述存取工位包括：移动架和存取机构，所述移动架安装于所述轨道上，所述移动架沿着所述轨道在水平方向运动，所述存取机构安装于所述移动架上，所述存取机构沿着所述移动架在竖直方向运动，所述存取机构对所述晶圆进行存取；

所述存取机构包括：滑座和承重载盘，所述滑座安装于所述移动架上，所述滑座沿着所述移动架在竖直方向移动，所述承重载盘安装于所述滑座上，所述承重载盘在所述滑座上自由旋转。

2.根据权利要求1所述的晶圆双工位移载装置，其特征在于，所述承重载盘对所述晶圆进行存取，所述承重载盘可沿着与所述轨道垂直的水平方向运动。

3.根据权利要求1所述的晶圆双工位移载装置，其特征在于，所述轨道包括：空中轨道和地面轨道，所述空中轨道和所述地面轨道平行分布，所述空中轨道和所述地面轨道平行分布分别安装于所述存取工位的两端，所述存取工位在所述空中轨道和所述地面轨道上滑行。

4.根据权利要求1所述的晶圆双工位移载装置，其特征在于，两组所述存取工位分别设置于所述轨道的两侧；

或者，其中一组所述存取工位设置于所述轨道的中部，另外一组所述存取工位设置于所述轨道的边侧；

或者，两组所述存取工位相邻设置于所述轨道的同一边侧。

5.一种晶圆存储库，其特征在于，所述存储库包括如权利要求1-4任一项所述的双工位移载装置，所述双工位移载装置用于对晶圆进行存取。

6.根据权利要求5所述的晶圆存储库，其特征在于，所述一组对接部的各个对接口与所述另一组对接部的各个对接口一对一地相对设置；两个所述对接口为输入对接口，两个所述对接口为输出对接口，其中，所述输入对接口用于接收来自其他工艺完成后通过空中运输机器人运输过来的晶圆，并通过所述双工位移载装置存入存储库，所述输出对接口用于将存储库的晶圆通过空中运输机器人流转到下一工艺加工机台。

7.根据权利要求6所述的晶圆存储库，其特征在于，所述存储库还包括：人工输入对接口和库存输出对接口，所述人工输入对接口用于接收工作人员提供的晶圆，所述库存输出对接口用于向地面存储库附近加工机台供应晶圆。

8.一种晶圆存取方法，其特征在于，用于如权利要求5-7任一项所述的晶圆存储库的晶圆存取，包括：

收到晶圆存取指令；

根据存取指令分配任务给双工位移载装置；

双工位移载装置根据分配的任务进行晶圆的存取。

9.一种晶圆整理方法，其特征在于，用于如权利要求5-7任一项所述的晶圆存储库的晶圆整理，包括：

制定周期性整理时间；

对各存储区库位进行排查；

将排查的信息更新至数据库并进行分析与计算；

通过双工位移载装置对晶圆进行整理，使得采用相同工艺或相同流转方向的晶圆相邻排列。