[发明专利]气体交换设备在审
| 申请号： | 202210306645.2 | 申请日： | 2022-03-25 |
| 公开（公告）号： | CN114754175A | 公开（公告）日： | 2022-07-15 |
| 发明（设计）人： | 李峥;李霖;于朋扬;王洪宇;李思 | 申请（专利权）人： | 北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所） |
| 主分类号： | F16K11/10 | 分类号： | F16K11/10;F16K7/12;F16K31/06;F16K31/40 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 唐民 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本申请涉及气体交换技术领域，尤其是涉及一种气体交换设备，气体交换设备包括：主体构件，主体构件设置有进气口和输出口；气动阀，设置于主体构件；气动阀包括阀体以及设置于阀体内的阀芯；阀芯在阀体内具有第一作业位置和第二作业位置；气动膜片，主体构件形成有换气腔，气动膜片设置于换气腔内；阀芯处于第一作业位置时，气动膜片开启，换气腔与输出口连通；阀芯处于第二作业位置时，气动膜片关闭。本申请提供的气体交换设备，通过气动膜控制气体交换，有效避免阀芯动作产生颗粒而污染气体，保证了气体清洁度。 | ||
| 搜索关键词： | 气体 交换 设备 | ||
【主权项】：
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