[发明专利]气体交换设备

说明书

本申请涉及气体交换技术领域，尤其是涉及一种气体交换设备，气体交换设备包括：主体构件，主体构件设置有进气口和输出口；气动阀，设置于主体构件；气动阀包括阀体以及设置于阀体内的阀芯；阀芯在阀体内具有第一作业位置和第二作业位置；气动膜片，主体构件形成有换气腔，气动膜片设置于换气腔内；阀芯处于第一作业位置时，气动膜片开启，换气腔与输出口连通；阀芯处于第二作业位置时，气动膜片关闭。本申请提供的气体交换设备，通过气动膜控制气体交换，有效避免阀芯动作产生颗粒而污染气体，保证了气体清洁度。

技术领域

本申请涉及气体交换技术领域，尤其是涉及一种气体交换设备。

背景技术

目前，现有的阀门或者多个阀门的组合可以做到气体交换，但气体经常经过阀芯，导致阀芯在动作过程中产生的颗粒容易污染气体，影响气体的洁净度。

发明内容

本申请的目的在于提供一种气体交换设备，以在一定程度上解决现有技术中存在的阀门在进行气体交换过程中，由于阀门动作容易产生颗粒而污染气体的技术问题。

本申请提供了一种气体交换设备，包括：主体构件，所述主体构件设置有进气口和输出口；

气动阀，设置于所述主体构件；所述气动阀包括阀体以及设置于所述阀体内的阀芯；所述阀芯在所述阀体内具有第一作业位置和第二作业位置；

气动膜片，所述主体构件形成有换气腔，所述气动膜片设置于所述换气腔内；所述阀芯处于所述第一作业位置时，所述气动膜片开启，所述换气腔与所述输出口连通；所述阀芯处于所述第二作业位置时，所述气动膜片关闭。

在上述技术方案中，进一步地，所述气体交换设备还包括：

第一先导阀，与所述气动阀连通；

第二先导阀，与所述气动阀连通；

所述第一先导阀和所述第二先导阀用于控制所述阀芯在所述第一作业位置和所述第二作业位置之间切换。

在上述任一技术方案中，进一步地，所述进气口包括：

正压气体进口，与所述第一先导阀和所述第二先导阀连通；

真空气体进口，与所述换气腔连通；

大气进口，与所述换气腔连通；

所述正压气体进口、所述真空气体进口和所述大气进口以及所述输出口均设置有密封圈。

在上述任一技术方案中，进一步地，所述主体构件包括：

固定座，所述气动阀设置于所述固定座；

汇流构件，所述汇流构件设置于所述固定座，所述汇流构件设置有多个通气管路；

所述换气腔设置于所述固定座与所述汇流构件之间；

所述正压气体进口、所述真空气体进口、所述大气进口均设置于所述固定座；

所述正压气体进口通过其中一个所述通气管路分别与所述第一先导阀和所述第二先导阀连通。

在上述任一技术方案中，进一步地，所述气动阀的底部形成有多个接口；

所述正压气体进口通过其中一个所述通气管路与其中一个所述接口连通；所述真空气体进口通过其中一个所述通气管路与其中另一个所述接口连通；所述大气进口通过其中一个所述通气管路与其中另外一个所述接口连通。

在上述任一技术方案中，进一步地，所述固定座面对所述汇流构件的一侧表面形成第一槽部，所述汇流构件面对所述第一槽部的位置形成第二槽部，所述第一槽部和所述第二槽部共同限定出所述换气腔；

所述气动膜开启时所述气动膜位于所述第一槽部内，所述气动膜关闭时，所述气动膜位于所述第二槽部内。