[发明专利]气体交换设备在审

专利信息
申请号: 202210306645.2 申请日: 2022-03-25
公开(公告)号: CN114754175A 公开(公告)日: 2022-07-15
发明(设计)人: 李峥;李霖;于朋扬;王洪宇;李思 申请(专利权)人: 北京半导体专用设备研究所(中国电子科技集团公司第四十五研究所)
主分类号: F16K11/10 分类号: F16K11/10;F16K7/12;F16K31/06;F16K31/40
代理公司: 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 代理人: 唐民
地址: 100176 北京*** 国省代码: 北京;11
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 气体 交换 设备
【权利要求书】:

1.一种气体交换设备,其特征在于,包括:

主体构件,所述主体构件设置有进气口和输出口;

气动阀,设置于所述主体构件;所述气动阀包括阀体以及设置于所述阀体内的阀芯;所述阀芯在所述阀体内具有第一作业位置和第二作业位置;

气动膜片,所述主体构件形成有换气腔,所述气动膜片设置于所述换气腔内;所述阀芯处于所述第一作业位置时,所述气动膜片开启,所述换气腔与所述输出口连通;所述阀芯处于所述第二作业位置时,所述气动膜片关闭。

2.根据权利要求1所述的气体交换设备,其特征在于,所述气体交换设备还包括:

第一先导阀,与所述气动阀连通;

第二先导阀,与所述气动阀连通;

所述第一先导阀和所述第二先导阀用于控制所述阀芯在所述第一作业位置和所述第二作业位置之间切换。

3.根据权利要求2所述的气体交换设备,其特征在于,所述进气口包括:

正压气体进口,与所述第一先导阀和所述第二先导阀连通;

真空气体进口,与所述换气腔连通;

大气进口,与所述换气腔连通;

所述正压气体进口、所述真空气体进口和所述大气进口以及所述输出口均设置有密封圈。

4.根据权利要求3所述的气体交换设备,其特征在于,所述主体构件包括:

固定座,所述气动阀设置于所述固定座;

汇流构件,所述汇流构件设置于所述固定座,所述汇流构件设置有多个通气管路;

所述换气腔设置于所述固定座与所述汇流构件之间;

所述正压气体进口、所述真空气体进口、所述大气进口均设置于所述固定座;

所述正压气体进口通过其中一个所述通气管路分别与所述第一先导阀和所述第二先导阀连通。

5.根据权利要求4所述的气体交换设备,其特征在于,所述气动阀的底部形成有多个接口;

所述正压气体进口通过其中一个所述通气管路与其中一个所述接口连通;所述真空气体进口通过其中一个所述通气管路与其中另一个所述接口连通;所述大气进口通过其中一个所述通气管路与其中另外一个所述接口连通。

6.根据权利要求4所述的气体交换设备,其特征在于,所述固定座面对所述汇流构件的一侧表面形成第一槽部,所述汇流构件面对所述第一槽部的位置形成第二槽部,所述第一槽部和所述第二槽部共同限定出所述换气腔;

所述气动膜开启时所述气动膜位于所述第一槽部内,所述气动膜关闭时,所述气动膜位于所述第二槽部内。

7.根据权利要求4所述的气体交换设备,其特征在于,所述气体交换设备还包括电气板卡;

所述汇流构件设置有固定组件,所述电气板卡设置于所述固定组件;

所述电气板卡设置有第一数据接口和第二数据接口,所述第一数据接口和所述第二数据接口分别与所述第一先导阀连接;

所述电气板卡还设置有对外数据接口。

8.根据权利要求7所述的气体交换设备,其特征在于,所述固定组件包括:

至少两个板卡保护条,至少两个所述板卡保护条分别设置于所述电气板卡的两侧并与所述电气板卡连接;所述板卡保护条与所述汇流构件连接;

盖板,与至少两个所述板卡保护条中的每一个所述板卡保护条连接,所述电气板卡设置于所述盖板以及所述板卡保护条形成的容纳空间内。

9.根据权利要求7所述的气体交换设备,其特征在于,所述气体交换设备还包括用于检测所述输出口的压力的压力传感器,所述压力传感器与所述电气板卡连接。

10.根据权利要求2至9中任一项所述的气体交换设备,其特征在于,所述第一先导阀和所述第二先导阀均为两位三通电磁阀;

所述气动阀为两位五通气动阀。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京半导体专用设备研究所(中国电子科技集团公司第四十五研究所),未经北京半导体专用设备研究所(中国电子科技集团公司第四十五研究所)许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202210306645.2/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top