[发明专利]光罩护膜检测方法及其系统在审
| 申请号： | 202210306558.7 | 申请日： | 2022-03-25 |
| 公开（公告）号： | CN116841126A | 公开（公告）日： | 2023-10-03 |
| 发明（设计）人： | 陈明彰;张俊霖;陈家桢 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国 |
| 地址： | 中国台湾新竹市*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 一种光罩护膜检测方法及其系统，光罩护膜检测方法包含以一低同调光干涉系统，分别使用一第一偏振光以及一第二偏振光，量测一光罩护膜的多个区域，以分别获得每一该些区域的一第一偏振态色散信息以及一第二偏振态色散信息，其中该第一偏振光的偏振态不同于该第二偏振光的偏振态；计算每一该些区域的该第一偏振态色散信息以及该第二偏振态色散信息，以判断该光罩护膜是否合格；以及将合格的该光罩护膜装设至一光罩上。 | ||
| 搜索关键词： | 光罩护膜 检测 方法 及其 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于台湾积体电路制造股份有限公司，未经台湾积体电路制造股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202210306558.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种车辆网络的动态调整方法、管理装置及系统
- 下一篇：烧结炉
