[发明专利]一种含缺陷偶极子的柔性铁电薄膜及制作方法

摘要

本发明公开了一种含缺陷偶极子的柔性铁电薄膜及制作方法；其主要包括：云母衬底，以及在云母衬底上依次生长的缓冲层CoFe2O4薄膜、底电极层SrRuO3薄膜和铁电功能层Pb(Zr0.2Ti0.8)O3薄膜。在制作方法中均采用脉冲激光沉积工艺，通过使用不同的工艺参数，控制Pb(Zr0.2Ti0.8)O3铁电薄膜中Pb离子的挥发，从而在铁电薄膜中引入Pb离子空位与O空位结合形成缺陷偶极子。在铁电功能层中引入缺陷偶极子可以有效地调控铁电畴翻转过程，从而提高其极化状态的改变量，在室温附近产生巨电卡效应在施加和撤去外电场前后极化强度的改变量可达50μC/cm2；在固态制冷领域上具有广阔的应用前景。