[发明专利]一种钛酸锶/金/二氧化硅结构柔性透明电极及其制备方法

摘要

本发明涉及一种SrTiO3/Au/SiO2结构柔性透明电极及其制备方法，利用磁控溅射沉积技术,以透明PET为衬底,通过调节磁控溅射系统的本底真空度、溅射总气压、固定靶和衬底的距离、溅射功率等，依次对SiO2靶材、Au靶材、SrTiO3靶材进行射频溅射，沉积得到SiO2层、Au层、SrTiO3层；所得SrTiO3/Au/SiO2结构柔性透明电极是以透明PET为衬底，从下往上依次是SiO2层，Au层，SrTiO3层。本发明原材料易得而且成本低廉，适合工业化生产，得到的柔性透明电极透光率高，方块电阻小，性能优良。