[发明专利]小尺寸基片涂胶盘及小尺寸基片涂胶装置

摘要

本发明公开了一种小尺寸基片涂胶盘及小尺寸基片涂胶装置。小尺寸基片涂胶盘包括：本体部，本体部的上表面设有多个筋条，多个筋条沿本体部中心的周向方向间隔排布，相邻两个筋条构造形成一个沟槽，沟槽的一端朝向本体部的中心，沟槽的另一端朝向本体部的边缘，在本体部中心至边缘的方向上，沟槽的宽度逐渐减小；每个沟槽对应一个基片，基片适于止抵在沟槽靠近本体部中心的一端。本发明的小尺寸基片涂胶盘结构简单且无须真空吸附，因此可以单层或多层布置，单个小尺寸基片涂胶盘可同时实现多基片同时涂胶，大大提交了涂胶效率，并且光刻胶均匀性满足需求。