[发明专利]小尺寸基片涂胶盘及小尺寸基片涂胶装置有效
| 申请号： | 202210278532.6 | 申请日： | 2022-03-21 |
| 公开（公告）号： | CN114904730B | 公开（公告）日： | 2023-03-03 |
| 发明（设计）人： | 刘佳星;巩爽;王少刚;张轶;亢喆 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第十一研究所 |
| 主分类号： | B05C11/08 | 分类号： | B05C11/08;B05C13/02;G03F7/16 |
| 代理公司： | 工业和信息化部电子专利中心 11010 | 代理人： | 于金平 |
| 地址： | 100015*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 尺寸 涂胶 装置 | ||
1.一种小尺寸基片涂胶盘，其特征在于，包括：本体部，所述本体部的上表面设有多个筋条，多个所述筋条沿所述本体部中心的周向方向间隔排布，相邻两个所述筋条构造形成一个沟槽，所述沟槽的一端朝向所述本体部的中心，所述沟槽的另一端朝向所述本体部的边缘，在所述本体部中心至边缘的方向上，所述沟槽的宽度逐渐减小；
每个所述沟槽对应一个基片，所述基片适于止抵在所述沟槽靠近所述本体部中心的一端。
2.如权利要求1所述的小尺寸基片涂胶盘，其特征在于，在所述本体部中心至边缘的方向上，所述筋条的高度逐渐减小。
3.如权利要求1所述的小尺寸基片涂胶盘，其特征在于，所述沟槽的底壁设有抬高垫，在所述本体部中心至边缘的方向上，所述抬高垫的厚度逐渐增大。
4.如权利要求1所述的小尺寸基片涂胶盘，其特征在于，所述沟槽的底壁设有抬高垫，在所述本体部中心至边缘的方向上，所述抬高垫的厚度逐渐减小。
5.如权利要求1所述的小尺寸基片涂胶盘，其特征在于，位于不同所述沟槽的、相邻两个所述筋条靠近所述本体部中心的一端连接。
6.如权利要求1所述的小尺寸基片涂胶盘，其特征在于，所述本体部呈圆盘状。
7.如权利要求1所述的小尺寸基片涂胶盘，其特征在于，所述沟槽的深度小于所述基片的厚度。
8.如权利要求1所述的小尺寸基片涂胶盘，其特征在于，所述本体部的上表面为粗糙面。
9.如权利要求1所述的小尺寸基片涂胶盘，其特征在于，所述本体部设有镂空结构。
10.一种小尺寸基片涂胶装置，其特征在于，包括：
如权利要求1-9中任一项所述的小尺寸基片涂胶盘。
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