[发明专利]一种d15 在审
| 申请号： | 202210276198.0 | 申请日： | 2022-03-21 |
| 公开（公告）号： | CN114665006A | 公开（公告）日： | 2022-06-24 |
| 发明（设计）人： | 耿文平;丑修建;魏慧芬;毕开西;穆继亮;何剑;侯晓娟 | 申请（专利权）人： | 中北大学 |
| 主分类号： | H01L41/316 | 分类号： | H01L41/316;C23C14/16;C23C14/35;C23C14/58;C23C16/40;C23C16/50;C23C16/56;H01L41/113;H01L41/187 |
| 代理公司： | 北京清控智云知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11919 | 代理人： | 管士涛 |
| 地址： | 030051*** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： |
本申请提供了一种d |
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| 搜索关键词： | 一种 base sub 15 | ||
【主权项】：
暂无信息
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