[发明专利]一种可调谐微腔光频梳器件及其制备方法在审
| 申请号： | 202210274658.6 | 申请日： | 2022-03-21 |
| 公开（公告）号： | CN114647104A | 公开（公告）日： | 2022-06-21 |
| 发明（设计）人： | 周文超;陈钰杰;谢耀祖;李嘉琦;张彦峰;桂许春;余思远 | 申请（专利权）人： | 中山大学 |
| 主分类号： | G02F1/01 | 分类号： | G02F1/01;G02B6/132;G02B6/136 |
| 代理公司： | 深圳市创富知识产权代理有限公司 44367 | 代理人： | 高冰 |
| 地址： | 510275 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种可调谐微腔光频梳器件及其制备方法，该器件包括：衬底、微环波导、耦合直波导、加热器和电极；衬底上方集成有微环波导和耦合直波导，耦合直波导与微环波导连接，微环波导上方集成有加热器和电极，加热器与电极连接。本发明通过对加热器外加电压，对微环的谐振波长进行热调，能够在降低波导材料损耗的同时提高微环谐振腔的品质因子Q值，并通过低压化学气相沉积法沉积氘代氮化硅层，能够降低波导的传输材料损耗，提高微环谐振腔的Q值。本发明作为一种可调谐微腔光频梳器件及其制备方法，可广泛应用于光子学技术领域。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 调谐 微腔光频梳 器件 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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