[发明专利]一种锗单晶提拉过程中保护石英坩埚的方法有效
| 申请号： | 202210262673.9 | 申请日： | 2022-03-17 |
| 公开（公告）号： | CN114574949B | 公开（公告）日： | 2023-06-23 |
| 发明（设计）人： | 牛晓东;赵青松;狄聚青;顾小英 | 申请（专利权）人： | 安徽光智科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/20 | 分类号： | C30B15/20;C30B29/08 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 陈志海 |
| 地址： | 239000 安徽省*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种锗单晶提拉过程中保护石英坩埚的方法，包括如下步骤：化料、引晶、放肩、等径、放肩二、收尾一、收尾二和降温；其中，放肩二：控制均匀降温并保持一定时长，使得晶体逐渐长大；收尾一：调低埚升，按低降温频率控制均匀降温，使得晶体逐渐缩小；收尾二：调低埚升和埚转，按高降温频率控制均匀降温，直至熔体被提拉完毕。本方案一方面通过在等径阶段后增设放肩二阶段，以便于缩短晶体提拉周期，为收尾阶段提供一个稳定的热场环境；另一方面将收尾阶段分为两个阶段进行，以便于通过逐渐提升降温频率、降低埚升速度和降低埚转速度等外在因素，使得收尾阶段处于一个稳定易控的热场环境，从而在锗单晶提拉过程中保护石英坩埚不被胀破。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 锗单晶提拉 过程 保护 石英 坩埚 方法 | ||
【主权项】：
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