[发明专利]一种可见-红外双波段光电探测器

摘要

本发明实施例中提供的可见‑红外双波段光电探测器，利用PIN光电探测结构和金属‑半导体接触界面势垒结构，在实现提高中远红外波段量子效率的同时实现光电探测器的可见‑红外双波段探测的功能。优点为当光垂直入射时，可见光通过PIN结构时被其充分吸收探测，由于硅对红外波段的光具有良好的透过性能，红外波段光线穿过衬底层，通过金属薄膜反射层进行反射，将红外波段光线反射到微结构层，利用微结构层特性增强对红外波段光的吸收，使载流子获得能量跃迁至费米能级，越过势垒进入半导体衬底，使电子和空穴分别被两侧金属电极收集，对红外波段光线进行高量子转换效率的吸收探测，实现可见‑红外双波段探测，本发明可大幅提高探测光谱范围，拓宽应用领域。