[发明专利]一种高产酸的肟磺酸酯类光产酸剂在审
| 申请号： | 202210248642.8 | 申请日： | 2022-03-14 |
| 公开（公告）号： | CN115368286A | 公开（公告）日： | 2022-11-22 |
| 发明（设计）人： | 钱晓春;龚艳;姜超;徐丽萍 | 申请（专利权）人： | 常州强力先端电子材料有限公司;常州强力电子新材料股份有限公司;常州强力光电材料有限公司 |
| 主分类号： | C07D207/327 | 分类号： | C07D207/327;C07D209/08;C07D213/57;C07D317/72;C07C323/63;C07D333/24;C07C303/00;C07C309/73;C07C309/65;C07C309/00;C07C303/28;G03F7/004 |
| 代理公司： | 北京汉德知识产权代理事务所(普通合伙) 11328 | 代理人： | 刘子文;徐驰 |
| 地址： | 213159 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： |
本发明公开一种感光度高，溶解性、热稳定性和化学稳定性更具优势的肟磺酸酯类光产酸剂，含有该光产酸剂的抗蚀剂组合物及其应用，所述肟磺酸酯类光产酸剂具有通式(I)所示结构。 |
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| 搜索关键词： | 一种 高产 肟磺酸酯类光产酸剂 | ||
【主权项】：
暂无信息
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