[发明专利]光栅刀具刀尖角测量装置及其测量方法有效
| 申请号: | 202210241246.2 | 申请日: | 2022-03-11 |
| 公开(公告)号: | CN114608483B | 公开(公告)日: | 2023-03-10 |
| 发明(设计)人: | 糜小涛;江思博;周敬萱;高键翔;李晓天;吉日嘎兰图;李文昊;江锐;徐向宇;刘广义 | 申请(专利权)人: | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所;北京科益虹源光电技术有限公司 |
| 主分类号: | G01B11/26 | 分类号: | G01B11/26 |
| 代理公司: | 长春中科长光知识产权代理事务所(普通合伙) 22218 | 代理人: | 高一明 |
| 地址: | 130033 吉林省长春*** | 国省代码: | 吉林;22 |
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| 摘要: |
本发明提供一种光栅刀具刀尖角测量装置及其测量方法,其中的测量装置包括一基板;固定在基板一侧的刀架调节机构,用于调节并固定光栅刀具的位置;固定在基板上与刀架调节机构同侧的光源,用于向光栅刀具发出测量光束;与基板转动连接的光信号接收系统,用于以转动的方式接收光栅刀具的定向面和非定向面的反射光;固定在基板另一侧的圆光栅测量系统,用于测量光信号接收系统从接收定向面的反射光到接收非定向面的反射光所发生的角位移量θ,则光栅刀具的刀尖角为 |
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| 搜索关键词: | 光栅 刀具 刀尖 测量 装置 及其 测量方法 | ||
【主权项】:
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