[发明专利]一种清洗液循环流动的晶圆槽式清洗机有效
| 申请号： | 202210237584.9 | 申请日： | 2022-03-11 |
| 公开（公告）号： | CN114589157B | 公开（公告）日： | 2023-01-17 |
| 发明（设计）人： | 孙先淼;周训丙;赵天翔 | 申请（专利权）人： | 智程半导体设备科技(昆山)有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/12 | 分类号： | B08B3/12;B08B13/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京专赢专利代理有限公司 11797 | 代理人： | 陈进 |
| 地址： | 215300 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明适用于晶圆生产设备技术领域，提供了一种清洗液循环流动的晶圆槽式清洗机；包括：清洗槽；设置于清洗槽内部的环形隔板，环形隔板外侧与清洗槽内侧围合而成循环槽；转动设置于环形隔板内部的转动盘；设置在转动盘上往复滑动的多个用于承载超声换能器的安装滑板；设置在环形隔板内部的花篮固定架，花篮固定架用于对花篮进行固定；用于驱动花篮固定架和超声换能器往复滑动的驱动机构，驱动机构设置在清洗槽上；及，用于驱动清洗槽内部清洗液通过循环槽循环流动的连通管道，连通管道设置在清洗槽底部；连通管道内部转动设置有用于驱动清洗液流动的螺旋器。本发明提高了清洗效率，同时使得晶圆清洗更加完整。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 清洗 循环 流动 晶圆槽式 | ||
【主权项】：
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