[发明专利]一种双面柔性电路板上的压电薄膜传感器结构及制备方法在审
申请号: | 202210228929.4 | 申请日: | 2022-03-08 |
公开(公告)号: | CN114678462A | 公开(公告)日: | 2022-06-28 |
发明(设计)人: | 何大伟;朱凯 | 申请(专利权)人: | 上海凸申科技有限公司 |
主分类号: | H01L41/047 | 分类号: | H01L41/047;H01L41/29;H05K3/10 |
代理公司: | 上海申新律师事务所 31272 | 代理人: | 党蕾 |
地址: | 201800 上海*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明涉及压电薄膜传感器技术领域,具体涉及一种压电薄膜传感器结构及制备方法,包括,柔性电路板,所述柔性电路板为双面金属结构,包括上表面金属层以及下表面金属屏蔽层;压电薄膜,包括:底电极,设置于所述上表面金属层;压电薄膜层,设置于所述底电极上方;上电极,设置于所述压电薄膜层上方,所述上电极包括电极引出结构,连接所述底电极。本发明充分利用双面柔性电路板的上下金属层,从结构和性能上对压电薄膜传感器进行加强,提高可靠性,同时连接器小型化,方便与主板连接,实现多引出功能,有效解决焊盘与连接器无法通过直接焊接相连的问题。 | ||
搜索关键词: | 一种 双面 柔性 电路板 压电 薄膜 传感器 结构 制备 方法 | ||
【主权项】:
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