[发明专利]一种高压喷嘴装置、去胶单元和去胶机有效
| 申请号： | 202210218015.X | 申请日： | 2022-03-08 |
| 公开（公告）号： | CN114308424B | 公开（公告）日： | 2022-08-05 |
| 发明（设计）人： | 刘晓龙;朱松;李嘉东 | 申请（专利权）人： | 宁波润华全芯微电子设备有限公司 |
| 主分类号： | B05B1/04 | 分类号： | B05B1/04;B05B15/68;B08B3/02;H01L21/67 |
| 代理公司： | 浙江中桓凯通专利代理有限公司 33376 | 代理人： | 李美宝 |
| 地址： | 315400 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种高压喷嘴组件、高压喷嘴装置、去胶单元和去胶机，所述高压喷嘴组件，由狭缝状喷嘴和柱状喷嘴组成，所述狭缝状喷嘴包括：狭缝状开口段和与其连通的狭缝状喷腔段，所述狭缝状开口段与所述狭缝状喷腔段位于所述狭缝状喷嘴内；所述狭缝状开口段的轴线与所述狭缝状喷腔段的轴线呈倾斜状设置；所述柱状喷嘴包括；柱状开口段和与其连通的柱状喷腔段，所述柱状开口段和所述柱状喷腔段位于所述柱状喷嘴内，所述柱状开口段的轴线与所述柱状喷腔段的轴线平行设置；其中，所述狭缝状喷腔段的轴线和所述柱状喷腔段的轴线平行设置。本发明解决晶圆上的胶和金属无法有效剥离的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高压 喷嘴 装置 单元 去胶机 | ||
【主权项】：
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