[发明专利]氮氧化硅梯度构思在审
| 申请号： | 202210217020.9 | 申请日： | 2016-06-15 |
| 公开（公告）号： | CN114744048A | 公开（公告）日： | 2022-07-12 |
| 发明（设计）人： | 崔寿永;元泰景;任东吉;约翰·M·怀特;崔弈;张雪娜 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | H01L29/786 | 分类号： | H01L29/786;H01L27/32;H01L27/12;G02F1/136 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本公开内容的实施方式一般涉及用于在液晶显示器(Liquid Crystal Display,LCD)及有机发光二极管(organic light‑emitting diode,OLED)显示器中使用低温多晶硅(low temperature polysilicon,LTPS)薄膜晶体管的方法及装置。 | ||
| 搜索关键词： | 氧化 梯度 构思 | ||
【主权项】：
暂无信息
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