[发明专利]劣化检查装置以及劣化检查方法在审
| 申请号： | 202210208122.4 | 申请日： | 2022-03-04 |
| 公开（公告）号： | CN115494363A | 公开（公告）日： | 2022-12-20 |
| 发明（设计）人： | 间岛秀明 | 申请（专利权）人： | 株式会社东芝;东芝电子元件及存储装置株式会社 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 戚宏梅 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本实施方式涉及劣化检查装置以及劣化检查方法。根据一个实施方式，劣化检查装置具备：电感器，串联连接于作为被检查对象的MOS晶体管的主电流路，在上述MOS晶体管为导通状态时与上述MOS晶体管一起构成闭环；控制电路，对上述MOS晶体管的导通/截止进行控制；电流传感器，检测上述电感器释放的电流；以及计算电路，根据上述MOS晶体管为导通状态时上述电感器释放的电流的衰减特性计算上述MOS晶体管的导通电阻，根据上述MOS晶体管为截止状态时上述电感器释放的电流的衰减特性计算上述MOS晶体管的阈值电压。 | ||
| 搜索关键词： | 检查 装置 以及 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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