[发明专利]一种CoCrFeNi高熵合金掺杂非晶碳薄膜及其制备方法有效
| 申请号： | 202210199226.3 | 申请日： | 2022-03-02 |
| 公开（公告）号： | CN114703452B | 公开（公告）日： | 2023-03-21 |
| 发明（设计）人： | 周野飞;韩世超;邢晓磊;陈琳;杨庆祥 | 申请（专利权）人： | 燕山大学 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/16;C23C14/18;C23C14/32;C23C14/35 |
| 代理公司： | 大连东方专利代理有限责任公司 21212 | 代理人： | 周媛媛;李馨 |
| 地址： | 066004 河北省*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种CoCrFeNi高熵合金掺杂非晶碳薄膜及其制备方法，是采用具有较高堆垛层错形成能力的CoCrFeNi高熵合金作为掺杂组元，以氩气作为溅射气体，通过物理气相沉积装置制备的具有CoCrFeNi纳米孪晶结构掺杂的非晶碳薄膜材料。该薄膜的显著特征在于，在非晶碳中掺入了高熵相。不同于单组元或多组元掺杂，该薄膜可利用高熵相形变诱导塑性的特征，解决非晶碳薄膜高残余应力的问题，并通过高熵相孪晶结构的形成，使该薄膜具有高硬度、高强韧性、低摩擦系数、高膜基结合力的优点。鉴于以上描述，本发明可为高性能自润滑材料设计提供基础理论与方法，并拓展非晶碳薄膜在机械工程及其他领域的应用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 cocrfeni 合金 掺杂 非晶碳 薄膜 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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