[发明专利]一种可避免有源层开孔过刻的阵列基板及其制造方法在审
| 申请号： | 202210194256.5 | 申请日： | 2022-03-01 |
| 公开（公告）号： | CN114488638A | 公开（公告）日： | 2022-05-13 |
| 发明（设计）人： | 陈伟;陈鑫;朱书纬;潜垚;李澈 | 申请（专利权）人： | 福建华佳彩有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/1362 | 分类号： | G02F1/1362 |
| 代理公司： | 福州君诚知识产权代理有限公司 35211 | 代理人： | 戴雨君 |
| 地址： | 351100 福*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明涉及液晶显示技术领域，具体的说是一种可降低CH孔接触阻抗的阵列基板及其制造方法，该可降低CH孔接触阻抗的阵列基板包括基板，所述基板上端形成有栅极，所述基板上端和栅极上端均形成有栅极绝缘层，所述栅极绝缘层上端且位于右侧所述栅极处形成有有源层，所述栅极绝缘层上端和有源层上端均形成有刻蚀阻挡层。本发明可降低CH孔接触阻抗的阵列基板，在第三绝缘层上开第三绝缘层孔后像素电极层成膜之前，增加一道额外的纯钼金属层，以第三绝缘层光罩搭配负型光阻的方法，在源漏极与像素电极层之间设置纯钼金属层，起到桥接作用，以此降低像素电极层与源漏极之间的接触阻抗，从而保证显示屏画面的正常显示。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 避免 有源 层开孔 阵列 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
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