[发明专利]一种基于集成电路进行多层并联的电容在审
申请号: | 202210185563.7 | 申请日: | 2022-02-28 |
公开(公告)号: | CN114613863A | 公开(公告)日: | 2022-06-10 |
发明(设计)人: | 曾繁中;张汝京;邹才明 | 申请(专利权)人: | 宁波芯恩半导体科技有限公司 |
主分类号: | H01L29/92 | 分类号: | H01L29/92;H01L29/93;H01L29/94 |
代理公司: | 北京盛凡佳华专利代理事务所(普通合伙) 11947 | 代理人: | 赵浩淼 |
地址: | 315000 浙江省宁波市北*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明公开了一种基于集成电路进行多层并联的电容,包括若干并联的电容和基板,所述电容设置于基板上方构成第一并联电容,所述电容设置于基板中构成第二并联电容;所述电容包括端电极、内电极、介质、金属通孔,所述端电极包括第一端电极和第二端电极,所述内电极包括若干层;所述第一金属通孔设置于第一端电极顶部,所述第二金属通孔设置于第二端电极顶部;本发明采用将基板做成PN结电容、MOS电容,接着做多层的大电容,集成在一起,同时改善高频低频特性;集成电路工艺机械应力很小,半导体平面工艺,均匀性好,性能稳定,多层并联,适合制作大电容,大的电容一般高频性能不好,而小容量电容则刚好相反,具有很好的高频性能。 | ||
搜索关键词: | 一种 基于 集成电路 进行 多层 并联 电容 | ||
【主权项】:
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