[发明专利]一种基于MEMS三维干涉仪的光学微震计装置

摘要

本发明公开了一种基于MEMS三维干涉仪的光学微震计装置，包括封装外壳、MEMS干涉仪模块、激光器模块、光功率稳定模块、光电检测模块、温度控制模块。物理震动通过MEMS干涉仪模块转换为衍射光斑的相位变化，进一步通过光电检测模块转换为电压信号，并通过后续解调电路解算出物理震动的加速度响应；激光器模块在提供检测光源的同时，通过棱镜分出一束光照进光功率稳定模块，用来抑制因温度等环境变化所带来的激光器功率的漂移，配合温度控制模块对装置内部温度的稳定性控制，装置的低频性能得到保证，低频测震能力极大提升。所有功能性模块都固定于金属封装外壳之内，形成一个高精度便携式的光学微震计装置。