[发明专利]光学移相器及其制造方法在审
| 申请号： | 202210160783.4 | 申请日： | 2022-02-22 |
| 公开（公告）号： | CN114442342A | 公开（公告）日： | 2022-05-06 |
| 发明（设计）人： | 吴蓓蓓;金里;蒋平;路侑锡;曹睿 | 申请（专利权）人： | 联合微电子中心有限责任公司 |
| 主分类号： | G02F1/01 | 分类号： | G02F1/01;G02B6/122 |
| 代理公司： | 北京市汉坤律师事务所 11602 | 代理人： | 初媛媛;吴丽丽 |
| 地址： | 401332 重庆*** | 国省代码： | 重庆;50 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 提供了一种光学移相器。光学移相器包括衬底、第一波导层、第二波导层、金属层以及第三波导层。第一波导层位于衬底之上。第二波导层位于第一波导层之上。金属层位于第二波导层之上，被配置为接收控制电压。第三波导层位于金属层之上。第二波导层和第三波导层共同构成的波导结构接收从第一波导层耦出的光。光在第三波导层中形成光场限制。第三波导层具有随控制电压变化的折射率，以对光的相位进行调制。 | ||
| 搜索关键词： | 光学 移相器 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
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