[发明专利]一种凝胶流延成型制备氮化硅陶瓷基板的方法

摘要

本发明公开了一种制备氮化硅陶瓷基板的凝胶流延成型方法，该技术方法将氮化硅粉、凝胶单体、交联剂、分散剂和塑性剂等加入到醇类有机溶剂里，经过充分混合后，脱泡，加入引发剂后，进行流延成型。该技术方法创新在于将溶胶凝胶成型和流延工艺成型二者有机结合，充分发挥二者的各自优势，可以将氮化硅基板的素坯密度明显提高，有利于后续烧结更致密，含氧量降低，提高产品导热率；可以实现坯体快速固化，提高流延成型的效率，绿色环保。