[发明专利]一种硅片快速冷却装置及其冷却方法在审
| 申请号： | 202210148752.7 | 申请日： | 2022-02-17 |
| 公开（公告）号： | CN114508897A | 公开（公告）日： | 2022-05-17 |
| 发明（设计）人： | 武帅帅 | 申请（专利权）人： | 武帅帅 |
| 主分类号： | F25D31/00 | 分类号： | F25D31/00;F25D17/02;F25D29/00;F25D19/00 |
| 代理公司： | 山东诺诚智汇知识产权代理事务所(普通合伙) 37309 | 代理人： | 刘娅 |
| 地址： | 276100 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种硅片快速冷却装置及其冷却方法，涉及硅片生产技术领域，具体为外框和下冷却组件，所述外框的两端转动连接于驱动轴，所述驱动轴的表面连接有传输带，所述轴承的表面开设有管槽，所述下冷却组件设置于管槽内部，所述第一冷却管的外表面设置有透气吸水棉，所述托盘上表面连接有第二换热器。该硅片快速冷却装置及其冷却方法，第一冷却管、第二冷却管分别从高温硅片的下、上方直接对其进行降温散热，解决了技术背景中所提出的问题，通过流量计监测冷却液的流量以监测第一冷却管是否发生破损，并在第一冷却管破损时通过警报装置向工作人员发出提示，由工作人员及时对各第一冷却管进行检查，以便及时对出现破损的第一冷却管进行补修。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 快速 冷却 装置 及其 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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