[发明专利]一种硅片快速冷却装置及其冷却方法

说明书

本发明公开了一种硅片快速冷却装置及其冷却方法，涉及硅片生产技术领域，具体为外框和下冷却组件，所述外框的两端转动连接于驱动轴，所述驱动轴的表面连接有传输带，所述轴承的表面开设有管槽，所述下冷却组件设置于管槽内部，所述第一冷却管的外表面设置有透气吸水棉，所述托盘上表面连接有第二换热器。该硅片快速冷却装置及其冷却方法，第一冷却管、第二冷却管分别从高温硅片的下、上方直接对其进行降温散热，解决了技术背景中所提出的问题，通过流量计监测冷却液的流量以监测第一冷却管是否发生破损，并在第一冷却管破损时通过警报装置向工作人员发出提示，由工作人员及时对各第一冷却管进行检查，以便及时对出现破损的第一冷却管进行补修。

技术领域

本发明涉及硅片生产技术领域，具体为一种硅片快速冷却装置及其冷却方法。

背景技术

现有的硅片在生产过程中因加工工艺等原因，会使硅片温度升高，需要对硅片进行降温后方可进行后续加工，一般的是将硅片集中放入冷却箱中，待温度降至适宜温度后再取出送至下一加工设备处，另一种是将高温硅片放置于传输带上，由传送带携带硅片到达下一工序的过程中由冷却液管环绕硅片对其进行降温。

现有的冷却装置由冷却液管环绕硅片对其进行降温的方式在实行时，需要冷却液管呈螺旋状设置，并使传送带穿过冷却液管，但该方式会使冷却液管的底部被传输带所阻挡，导致冷却液管的底部对硅片的降温效果不佳。

发明内容

针对现有技术的不足，本发明提供了一种硅片快速冷却装置及其冷却方法，解决了上述背景技术中提出现有的冷却装置由冷却液管环绕硅片对其进行降温的方式在实行时，需要冷却液管呈螺旋状设置，并使传送带穿过冷却液管，但该方式会使冷却液管的底部被传输带所阻挡，导致冷却液管的底部对硅片的降温效果不佳的问题。

为实现以上目的，本发明通过以下技术方案予以实现：一种硅片快速冷却装置，包括外框和下冷却组件，所述外框的两端转动连接于驱动轴，且驱动轴的表面套设有轴承，所述驱动轴的表面连接有传输带，所述轴承的表面开设有管槽，所述下冷却组件设置于管槽内部，所述下冷却组件包括第一冷却管、流量计、第一换热器、透气吸水棉和撕扯标线，所述第一冷却管一端连接有流量计，且流量计的右端连接有第一换热器，所述第一冷却管的外表面设置有透气吸水棉，且透气吸水棉的表面设置有撕扯标线，所述外框的顶部固定有电动伸缩杆，且电动伸缩杆的顶部连接有托盘，所述托盘上表面连接有第二换热器，且第二换热器的底部连接有第二冷却管。

进一步的，所述第一冷却管的一端通过流量计与第一换热器的进水端连接，且第一冷却管另一端与第一换热器的出水端连接，而且第一换热器与外框固定连接。

进一步的，所述透气吸水棉表面呈蜂窝孔状结构，且透气吸水棉通过轴承与驱动轴转动连接。

进一步的，所述第一冷却管之间等距分布于驱动轴表面，且传输带位于第一冷却管之间。

进一步的，所述第二冷却管与传输带呈平行分布，且第二冷却管于托盘下表面呈“W”状分布。

进一步的，所述传输带表面设置有硅盒组件，所述硅盒组件包括盒体、保护网片、微型推杆、温度传感器、提示绿灯和提示红灯，所述盒体的内部设置有保护网片，且盒体的右侧连接有微型推杆，所述盒体的左侧中部设置有温度传感器，且温度传感器的两侧分别设置有提示绿灯和提示红灯。

进一步的，所述微型推杆关于盒体的中轴线对称分布，且盒体等距状分布于传输带表面，而且盒体表面均匀开设有微孔。

进一步的，所述温度传感器的探头端位于保护网片内部，且保护网片表面呈微孔状结构。

进一步的，所述提示绿灯与提示红灯关于温度传感器的中轴线对称分布，且提示绿灯、提示红灯与盒体固定连接。

一种硅片快速冷却装置的冷却方法，包括下述操作步骤：