[发明专利]一种MEMS制程用有机清洗设备

摘要

本发明公开了一种MEMS制程用有机清洗设备，属于芯片清洗技术领域，该清洗设备包括清洗箱体，清洗箱体两侧分别设置有进料口与出料口，清洗箱体内设置有有机清洗池，有机清洗池与进料口连通，进料口与有机清洗池通过输入轨道连通，输入轨道上设置有吹风筒，有机清洗池远离输入轨道一侧设置有输出轨道，输出轨道一侧远离有机清洗池一侧设置有检查箱，检查箱内设置有打包组件，出料口与打包组件通过滑槽连通，清洗箱体上设置有控制面板，控制面板通过导线与有机清洗池、输出轨道、检查箱、打包组件连接，本发明具有针对MEMS制程的有机清洗并做打包处理，避免出现二次污染问题，且本发明在节省有机溶剂的同时还能够有效的提高清洗效果。