[发明专利]气体激光振荡器在审

专利信息
申请号: 202210134006.2 申请日: 2022-02-14
公开(公告)号: CN114944585A 公开(公告)日: 2022-08-26
发明(设计)人: 远入尚亮 申请(专利权)人: 住友重机械工业株式会社
主分类号: H01S3/03 分类号: H01S3/03;H01S3/036
代理公司: 广州三环专利商标代理有限公司 44202 代理人: 郝传鑫
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 发明提供一种谐振腔反射镜或窗不易被污染的气体激光振荡器。一对放电电极及一对谐振腔反射镜配置于容纳激光介质气体的腔室内。从由谐振腔反射镜构成的光学谐振腔输出的激光束经由窗导出至腔室的外部。鼓风机在腔室内形成通过放电空间的激光介质气体流。附加流路将由鼓风机形成的激光介质气体流的一部分引导至谐振腔反射镜及窗中的至少一个的表面,从而对谐振腔反射镜或窗的表面喷吹激光介质气体。
搜索关键词: 气体 激光 振荡器
【主权项】:
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