[发明专利]气体激光振荡器

说明书

本发明提供一种谐振腔反射镜或窗不易被污染的气体激光振荡器。一对放电电极及一对谐振腔反射镜配置于容纳激光介质气体的腔室内。从由谐振腔反射镜构成的光学谐振腔输出的激光束经由窗导出至腔室的外部。鼓风机在腔室内形成通过放电空间的激光介质气体流。附加流路将由鼓风机形成的激光介质气体流的一部分引导至谐振腔反射镜及窗中的至少一个的表面，从而对谐振腔反射镜或窗的表面喷吹激光介质气体。

本申请主张基于2021年2月15日申请的日本专利申请第2021-021623号的优先权。该日本申请的全部内容通过参考援用于本说明书中。

技术领域

本发明涉及一种气体激光振荡器。

背景技术

二氧化碳激光振荡器等气体激光振荡器在腔室内设置有光学谐振腔及一对放电电极。并且，一边使激光介质气体在包括一对放电电极之间的放电空间在内的气体的循环流路中流动，一边在放电空间产生放电，由此引起激光振荡。若使气体激光振荡器长时间运转，则光学谐振腔的反射镜会因各种原因而被污染。例如，残留在腔室内的灰尘会被激光介质气体流卷起而附着于光学谐振腔反射镜的表面，或者因放电电极的表面劣化而产生的异物会附着于谐振腔反射镜的表面(例如，参考专利文献1)。并且，用于将激光束导出至腔室的外部的窗也会被污染。

专利文献1：日本特开2012-94750号公报

谐振腔反射镜或窗的污染会成为激光束的品质下降(例如，激光束的强度下降、束散角的增大等)的主要原因。若激光束的品质下降至超过允许范围，则不得不清理或更换谐振腔反射镜或窗。

发明内容

本发明的目的在于，提供一种谐振腔反射镜或窗不易被污染的气体激光振荡器。

根据本发明的一观点，提供一种气体激光振荡器，其具备：

腔室，容纳激光介质气体；

一对放电电极，配置于所述腔室内并且隔着间隔彼此对置配置；

一对谐振腔反射镜，构成具有通过所述放电电极之间的放电空间的光轴的光学谐振腔，并且配置于所述腔室内；

窗，将从所述光学谐振腔输出的激光束导出至所述腔室的外部；

鼓风机，在所述腔室内形成通过所述放电空间的激光介质气体流；及

附加流路，将由所述鼓风机形成的激光介质气体流的一部分引导至所述谐振腔反射镜及所述窗中的至少一个的表面，从而对所述谐振腔反射镜或所述窗的表面喷吹激光介质气体。

通过喷吹于谐振腔反射镜或窗的激光介质气体来去除附着于谐振腔反射镜或窗的表面的灰尘等。由此，谐振腔反射镜或窗不易被污染。

附图说明

图1是基于一实施例的气体激光振荡器的与光轴平行的纵剖视图。

图2是基于一实施例的气体激光振荡器的与光轴垂直的剖视图。

图3是基于一实施例的气体激光振荡器的水平剖视图。

图4是基于另一实施例的激光振荡器的与光轴平行的纵剖视图。

图5是基于又一实施例的激光振荡器中使用的附加流路的示意图。

图中：10-腔室，11-隔板，11A-气体流通部，12A-第1室，12B-第2室，15-放电电极，16-光学谐振腔，16F、16R-谐振腔反射镜，17-放电空间，18-导管，19-光轴，20-附加流路，20A-气体流调整板，25-窗，30-鼓风机，31-旋转翼，32-整流板，33-马达，35-热交换器。

具体实施方式

参考图1～图3对本发明的一实施例的气体激光振荡器进行说明。