[发明专利]气体激光振荡器

权利要求书

1.一种气体激光振荡器，其特征在于，具备：

腔室，容纳激光介质气体；

一对放电电极，配置于所述腔室内并且隔着间隔彼此对置配置；

一对谐振腔反射镜，构成具有通过所述放电电极之间的放电空间的光轴的光学谐振腔，并且所述一对谐振腔反射镜配置于所述腔室内；

窗，将从所述光学谐振腔输出的激光束导出至所述腔室的外部；

鼓风机，在所述腔室内形成通过所述放电空间的激光介质气体流；及

附加流路，将由所述鼓风机形成的激光介质气体流的一部分引导至所述谐振腔反射镜及所述窗中的至少一个的表面，从而对所述谐振腔反射镜或所述窗的表面喷吹激光介质气体。

2.根据权利要求1所述的气体激光振荡器，其特征在于，

还具备隔板，所述隔板将所述腔室的内部划分为配置有所述光学谐振腔的第1室和配置有所述鼓风机的第2室，

所述隔板上设置有气体流通部，所述气体流通部形成从所述第2室流入所述第1室的所述放电空间的激光介质气体流及从所述第1室的所述放电空间流出并流入所述第2室的激光介质气体流。

3.根据权利要求2所述的气体激光振荡器，其特征在于，

所述气体流通部在所述光学谐振腔的光轴方向上包括配置有所述放电电极的范围，并且所述气体流通部在所述光学谐振腔的光轴方向上延伸至配置有所述放电电极的范围的外侧，

所述附加流路的气体流入侧的端部配置于所述第1室，并且所述附加流路的气体流入侧的端部在所述光学谐振腔的光轴方向上位于配置有所述放电电极的范围的外侧。

4.根据权利要求2所述的气体激光振荡器，其特征在于，

所述附加流路的气体流入侧的端部配置于所述第2室，流过所述附加流路的激光介质气体从所述第2室以与所述隔板交叉的方式导入至所述第1室。