[发明专利]一种原子氧地面模拟设备通量密度及不均匀性标定方法在审
| 申请号： | 202210130248.4 | 申请日： | 2022-02-11 |
| 公开（公告）号： | CN114441377A | 公开（公告）日： | 2022-05-06 |
| 发明（设计）人： | 刘建;郝俊英;刘维民 | 申请（专利权）人： | 中国科学院兰州化学物理研究所 |
| 主分类号： | G01N9/00 | 分类号： | G01N9/00;G01N9/36 |
| 代理公司： | 北京一格知识产权代理事务所(普通合伙) 11316 | 代理人： | 赵永伟;李魏英 |
| 地址： | 730000 甘*** | 国省代码： | 甘肃;62 |
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| 摘要： | 一种原子氧地面模拟设备通量密度及不均匀性标定方法，采用原子氧地面模拟设备对装好双层Kapton膜的样品托进行长时间原子氧辐照，并对辐照前后的Kapton膜进行称量；将每组外侧Kapton膜辐照前、后的质量差，记为辐照损失质量；将每组内侧Kapton膜辐照前后的质量差记为出气损失质量。将辐照质量损失和出气质量损失相减，得到的方为真正的辐照损失质量；计算原子氧束流通量密度F；利用样品托表面7个区域的原子氧束流通量密度计算出原子氧束流通量密度的不均匀性。本发明的有益效果是：避免了Kapton膜真空放气导致的不准确性，加工特定结构的样品托以标定原子氧束流密度的不均匀性，得到了准确的原子氧通量密度及不均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 原子 地面 模拟 设备 通量 密度 不均匀 标定 方法 | ||
【主权项】：
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