[发明专利]一种原子氧地面模拟设备通量密度及不均匀性标定方法

权利要求书

1.一种原子氧地面模拟设备通量密度及不均匀性标定方法，其特征在于，包括以下步骤：

（1）裁剪2片大直径Kapton膜（3）和14片小直径Kapton膜（7），并分别称量每片Kapton膜的质量，称量精度优于1/100000 g；

（2）将裁剪好的大直径Kapton膜（3）和小直径Kapton膜（7）按两片一组重叠装入相应的大、小样品托的大圆台（1）和小圆台（5）上，大圆台（1）和小圆台（5）的直径分别与大直径Kapton膜（3）和小直径Kapton膜（7）的直径相同；然后用相应的大盖子（2）和小盖子（6）将Kapton膜的周边覆盖；该大样品托由大圆台（1）和大盖子（2）组成，大盖子（2）的内径略大于圆台（1）的直径，大盖子（2）的顶端设有缩口；该小样品托由底板（4）、小圆台（5）和小盖子（6）组成，圆形的底板（4）的直径与该大样品托的大圆台（1）直径相同，在底板（4）的上面设有7个均匀布置的小圆台（5），每一小圆台（5）设有小盖子（6），小盖子（6）的形状与大盖子（2）相似；

（3）采用原子氧地面模拟设备分别对装好Kapton膜的样品托进行原子氧辐照，盖子（2）垂直面对原子氧束流的方向距离为20 mm，辐照时间为4-6小时，并称量辐照后的Kapton膜的质量；

（4）将每组位于外侧的Kapton膜辐照前的质量减去辐照后的质量，得到的质量差值记为辐照损失质量；将每组内侧的Kapton膜辐照前的质量减去辐照后的质量，得到的质量差值记为出气损失质量；将辐照损失质量减去出气损失质量，得到的质量差值为实际辐照损失质量；

（5）利用公式F=∆M/ρδst计算原子氧束流通量密度F，其中∆M为实际辐照损失质量，ρ为kapton膜的密度，δ为反应系数原子氧与kapton膜的反应系数，s为辐照面积，t为辐照时间；

（6）对原子氧束流通量密度的不均匀性进行标定：利用小样品托上的7个小圆台（5）的原子氧束流通量密度F1-F7，计算原子氧束流通量密度的不均匀性，计算公式（Fmax-Fmin）/（Fmax+Fmin）•100%，其中Fmax和Fmin分别为F1-F7中的最大值和最小值。

2.根据权利要求1所述的原子氧地面模拟设备通量密度及不均匀性标定方法，其特征在于，所述的大直径Kapton膜和小直径Kapton膜的直径分别为Ф45mm和Ф12mm，大盖子（2）和小盖子（6）缩口的内径分别为Ф40mm和Ф10mm；在该底板（4）的上面设有7个小圆台（5），其中一个小圆台（5）设在底板（4）的中心，沿中心的小圆台（5）周边设有6个设有小圆台（5）。

3.根据权利要求1所述的原子氧地面模拟设备通量密度及不均匀性标定方法，其特征在于，在所述的大盖子（2）和小盖子（6）的缩口顶端内周设有倒角（D）。

4.根据权利要求1所述的原子氧地面模拟设备通量密度及不均匀性标定方法，其特征在于，在所述的大圆台（1）上设有上下面贯通的放气孔，在小圆台（5）的顶面与底板（4）的底面之间设有贯通的放气孔。