[发明专利]钙钛矿型碱土矾酸盐薄膜铁电异质结构及其制备方法在审
| 申请号： | 202210124482.6 | 申请日： | 2022-02-10 |
| 公开（公告）号： | CN114551717A | 公开（公告）日： | 2022-05-27 |
| 发明（设计）人： | 郑明;关朋飞 | 申请（专利权）人： | 中国矿业大学 |
| 主分类号： | H01L43/08 | 分类号： | H01L43/08;H01L43/12;C30B25/18 |
| 代理公司： | 北京和联顺知识产权代理有限公司 11621 | 代理人： | 王欢 |
| 地址： | 221116 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了钙钛矿型碱土矾酸盐薄膜铁电异质结构及其制备方法，异质结构包含铁电单晶衬底和在衬底上外延生长的钙钛矿型碱土矾酸盐薄膜；制备方法，包括以下步骤：步骤1：选取钙钛矿型碱土矾酸盐陶瓷块体为靶材；步骤2：采用脉冲激光沉积技术，在铁电单晶衬底上沉积一层外延的钙钛矿型碱土矾酸盐薄膜。本发明将碱土钒酸盐薄膜外延生长在铁电单晶衬底上，通过控制纵向施加的直流电场强度，使铁电单晶衬底产生逆压电效应，引入面内压应变，从而实现对碱土矾酸盐薄膜电阻的调控，呈现出电致电阻效应，这对于关联金属材料在新一代电场可调的低功耗非易失性电子器件中的应用具有重要的指导意义。 | ||
| 搜索关键词： | 钙钛矿型 碱土 矾酸盐 薄膜 铁电异质 结构 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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