[发明专利]直线运动台在审
| 申请号： | 202210117889.6 | 申请日： | 2022-02-08 |
| 公开（公告）号： | CN114496878A | 公开（公告）日： | 2022-05-13 |
| 发明（设计）人： | 李伟民;罗岩;谢扬;陆海亮 | 申请（专利权）人： | 江苏集萃苏科思科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/68 | 分类号： | H01L21/68;H01L21/66 |
| 代理公司： | 苏州根号专利代理事务所(普通合伙) 32276 | 代理人： | 吕正刚 |
| 地址： | 215133 江苏省苏州市相城*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种直线运动台，包括线性促动器、环状外圈、环状内圈、板簧，环状外圈与环状内圈同轴设置且环状外圈与环状内圈之间固定连接有板簧，线性促动器设置于环状内圈的内侧并与基台固定连接，环状外圈与环状内圈中的一个与基台固定连接，另一个则与负载台面相连，线性促动器的运动轴与负载台面相连。本申请结构紧凑，体积小，能够提高运动台对于惯性力的抗干扰性，同时提高直线运动台的工作稳定性和可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 直线运动 | ||
【主权项】：
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
