[发明专利]图像传感器

摘要

图像传感器包括：半导体衬底，其具有第一表面和与第一表面相对的第二表面；第一像素隔离结构，其设置在从半导体衬底的第一表面垂直地延伸并限定多个像素区的第一沟槽中；以及第二像素隔离结构，其设置在从半导体衬底的第二表面垂直地延伸的第二沟槽中。第二像素隔离结构与第一像素隔离结构重叠。第一像素隔离结构包括：衬里半导体图案，其将间隙区限定在第一沟槽中，衬里半导体图案包括侧壁部分和连接侧壁部分的底部部分；衬里绝缘图案，其设置在衬里半导体图案和半导体衬底之间；以及封盖绝缘图案，其设置在衬里半导体图案的间隙区中。