[发明专利]掩模在审
| 申请号： | 202210112682.X | 申请日： | 2022-01-29 |
| 公开（公告）号： | CN114934253A | 公开（公告）日： | 2022-08-23 |
| 发明（设计）人： | 文英慜;文敏浩;孙智熙;宋昇勇;任星淳;赵俊豪 | 申请（专利权）人： | 三星显示有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24;H01L51/56 |
| 代理公司： | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人： | 张逍遥;刘灿强 |
| 地址： | 韩国京畿*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供了一种掩模，所述掩模包括：掩模框，包括基体部和涂覆部，基体部中限定有单元开口，涂覆部围绕单元开口的边缘，覆盖基体部的上表面的至少一部分，并且包括与基体部的材料不同的材料；以及单位掩模，位于掩模框上，分别对应于单元开口，包括与涂覆部的材料不同的材料，并且单位掩模中限定有开口。 | ||
| 搜索关键词： | 掩模 | ||
【主权项】：
暂无信息
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