[发明专利]掩模

说明书

提供了一种掩模，所述掩模包括：掩模框，包括基体部和涂覆部，基体部中限定有单元开口，涂覆部围绕单元开口的边缘，覆盖基体部的上表面的至少一部分，并且包括与基体部的材料不同的材料；以及单位掩模，位于掩模框上，分别对应于单元开口，包括与涂覆部的材料不同的材料，并且单位掩模中限定有开口。

本申请要求于2021年2月5日提交的第10-2021-0016867号韩国专利申请的优先权和权益，该韩国专利申请的全部内容通过引用包含于此。

技术领域

本公开在此涉及一种金属掩模和一种制造该金属掩模的方法。

背景技术

显示面板包括多个像素，每个像素包括诸如晶体管的驱动元件和诸如有机发光二极管的显示元件。可以通过在基底上堆叠电极和发光图案来形成显示元件。

通过使用其中限定有穿透部的掩模进行图案化，在给定区域中形成发光图案。发光图案可以形成在由穿透部暴露的区域中。可以根据穿透部的形状来控制发光图案的形状。近来，正在开发与用于制造大面积掩模的设备和方法有关的技术，以提高包括发光图案的显示面板的产量。

发明内容

本公开提供了一种用于制造大面积显示面板的掩模以及一种掩模制造方法，利用其提高可靠性并且可以降低成本。

本公开的一些实施例提供了一种掩模，所述掩模包括：掩模框，包括基体部和涂覆部，基体部中限定有单元开口，涂覆部围绕单元开口的边缘，覆盖基体部的上表面的至少一部分，并且包括与基体部的材料不同的材料；以及单位掩模，位于掩模框上，分别对应于单元开口，包括与涂覆部的材料不同的材料，并且单位掩模中限定有开口。

涂覆部对激光的吸收率可以低于基体部对激光的吸收率。

涂覆部可以包括镁或铝。

涂覆部的厚度可以至多为基体部的厚度的约1/20。

涂覆部可以覆盖基体部的整个上表面。

涂覆部可以包括彼此间隔开并且分别围绕单元开口的多个涂覆部。

单位掩模中的每个的边缘可以在平面上与涂覆部叠置。

掩模还可以包括将单位掩模中的一个单位掩模和掩模框接合的接合部。

接合部可以将单位掩模中的一个单位掩模和涂覆部接合。

接合部可以将单位掩模中的一个单位掩模和基体部接合，并且其中，涂覆部与接合部间隔开。

在本公开的一些实施例中，一种掩模包括：掩模框，包括基体部和涂覆部，基体部中限定有单元开口，涂覆部覆盖基体部的上表面的至少一部分，并且包括与基体部的材料不同的材料；单位掩模，定位成分别对应于单元开口，并且单位掩模中限定有与单元开口中的相应一个单元开口叠置的开口；以及接合部，沿着单元开口的边缘将单位掩模和掩模框接合，其中，涂覆部在平面上与单位掩模的边缘叠置。

涂覆部可以在平面上与接合部叠置，其中，接合部将单位掩模和涂覆部接合。

涂覆部可以在平面上与接合部间隔开，其中，接合部将单位掩模和基体部接合。

涂覆部可以包括镁或铝。

在本公开的一些实施例中，一种掩模制造方法包括：设置掩模框，掩模框中限定有单元开口，并且掩模框包括基体部和涂覆部，涂覆部包括与基体部的材料不同的材料，并且覆盖基体部的上表面的至少一部分；设置与单元开口中的一个单元开口对应的单元掩模；通过用第一光束照射来将单元掩模和掩模框接合；以及通过用第二光束照射到与涂覆部叠置的区域来去除单元掩模的一部分，以形成单位掩模，其中，涂覆部对第二光束的吸收率低于基体部对第二光束的吸收率。

第二光束可以包括脉冲激光。