[发明专利]一种垂直式MEMS弯形探针插针装置及其插针方法有效
| 申请号： | 202210107716.6 | 申请日： | 2022-01-28 |
| 公开（公告）号： | CN114487781B | 公开（公告）日： | 2023-05-26 |
| 发明（设计）人： | 于海超;徐兴光;周培清 | 申请（专利权）人： | 强一半导体（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/28 | 分类号： | G01R31/28;G01R1/067 |
| 代理公司： | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人： | 徐丹;潘文斌 |
| 地址： | 215000 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种垂直式MEMS弯形探针插针装置及其插针方法；插针装置包括上固定结构、下固定结构、平移结构、倾斜结构、定位导向结构视觉检测结构，插针装置被配置成，在工作位置、所述倾斜机构带动所述下固定结构倾斜时，探针的针尾在所述下探针孔的空间内具有θ轴、X轴、Y轴上倾斜旋转的自由度，所述上盖板上的上探针孔与下盖板上的下探针孔一一垂直对应，所述上盖板上的导向孔与所述下固定结构上的导向柱一一垂直对应。本发明依靠结构简单但是可靠性、精度极高的机械结构，来实现了插针能确保上、下盖板稳定、无偏移得分开，不会发生弯针、重复对位、效率低下等问题，成本低、精度高，确保MEMS弯形探针这种具有特殊结构探针的插针成品率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 垂直 mems 探针 装置 及其 方法 | ||
【主权项】：
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