[发明专利]测量装置、光刻装置和物品制造方法在审
| 申请号： | 202210104824.8 | 申请日： | 2022-01-28 |
| 公开（公告）号： | CN114815533A | 公开（公告）日： | 2022-07-29 |
| 发明（设计）人： | 山口涉 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | G03F9/00 | 分类号： | G03F9/00 |
| 代理公司： | 北京怡丰知识产权代理有限公司 11293 | 代理人： | 迟军;高华丽 |
| 地址： | 日本东京都*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供测量装置、光刻装置和物品制造方法。所述测量装置测量在目标被摄体中配设的第一图案的位置和第二图案的位置，所述测量装置包括：摄像单元，其包括检测来自所述第一图案的光和来自所述第二图案的光的多个像素，并被构造为，形成用于通过所述多个像素拍摄所述第一图案和所述第二图案的摄像区域；以及控制单元，其被构造为，调整所述摄像单元，使得基于来自第一摄像区域的输出而生成的所述第一图案的检测信号的强度与基于来自第二摄像区域的输出而生成的所述第二图案的检测信号的强度的相对比落入容许范围内。 | ||
| 搜索关键词： | 测量 装置 光刻 物品 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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