[发明专利]一种改善铝锡铜合金溅射靶材冷却效果的方法在审
| 申请号： | 202210103674.9 | 申请日： | 2022-01-28 |
| 公开（公告）号： | CN114351097A | 公开（公告）日： | 2022-04-15 |
| 发明（设计）人： | 孙英斌;白春阳;刘英林 | 申请（专利权）人： | 大连金泰协力科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 116600 辽宁省大*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明属于一种改善铝锡铜合金溅射靶材冷却效果的方法，包括靶材（2），其特征在于将衬管（1）加工上外螺纹，靶材（2）加工上内螺纹，把靶材（2）旋拧在衬管（1）上，安装好后在衬管（1）中心放入加热管组（3），由热偶（4）控制加热温度，大约加热至300~350℃，靶材内表面开始熔化，这时及时停止加热管组（3）加热，此时螺纹嵌入部分的靶材与衬管熔铸为一体，大幅提升冷却效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 改善 铜合金 溅射 冷却 效果 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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