[发明专利]双背极板麦克风及其制造方法在审
| 申请号： | 202210100613.7 | 申请日： | 2022-01-27 |
| 公开（公告）号： | CN114422930A | 公开（公告）日： | 2022-04-29 |
| 发明（设计）人： | 孟燕子;荣根兰 | 申请（专利权）人： | 苏州敏芯微电子技术股份有限公司 |
| 主分类号： | H04R31/00 | 分类号： | H04R31/00;H04R7/10;B32B3/08;B32B9/00;B32B9/04 |
| 代理公司： | 北京成创同维知识产权代理有限公司 11449 | 代理人： | 蔡纯;岳丹丹 |
| 地址： | 215123 江苏省苏州市苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 公开了一种双背极板麦克风包括：由下至上依次层叠的衬底、第一牺牲层、下背极板、第二牺牲层、振膜、第三牺牲层以及上背极板；第一导电通道，从所述第二牺牲层表面向下贯穿所述第二牺牲层至下背极板；第二导电通道，贯穿所述第三牺牲层，与所述第一导电通道连接；彼此隔离的第一电极和第三电极，位于所述上背极板上，其中，所述第一电极经由第二导电通道以及第一导电通道与所述下背极板电连接，所述第三电极与上背极板电连接。本申请的双背极板麦克风，通过沉积振膜和上背极板层时将下背极板上的电极和振膜的电极连接到上背极板上，提高导电通道与下背极板和振膜的粘附力，提高器件的良率和可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 极板 麦克风 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
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