[发明专利]一种纳米级图案化金属阵列及其制备方法在审
| 申请号： | 202210093832.7 | 申请日： | 2022-01-26 |
| 公开（公告）号： | CN114477067A | 公开（公告）日： | 2022-05-13 |
| 发明（设计）人： | 张小平;张梦雨;王逸松;李铭晖 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | B81B1/00 | 分类号： | B81B1/00;B81C1/00 |
| 代理公司： | 北京高沃律师事务所 11569 | 代理人： | 韩雪梅 |
| 地址： | 100089 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种纳米级图案化金属阵列及其制备方法，涉及光学器件技术领域，该纳米级图案化金属阵列包括硅基衬底和纳米级图案化金属颗粒阵列；所述纳米级图案化金属颗粒阵列包括多个纳米级金属颗粒，且所有所述纳米级金属颗粒按照周期排列在所述硅基衬底上；从俯视角度出发，所述纳米级图案化金属颗粒阵列中的纳米级金属颗粒的形状为正方形、长方形、三角形、L形、U形中的一种或多种。本发明能够增强非线性效应，较好实现对光波的传输方向、局域场强度以及偏振形式等方面的调控。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 纳米 图案 金属 阵列 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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